微機電系統(MEMS)行業發展概況及市場趨勢分析

MEMS，中文稱作微型電子機械系統或微機電系統，是微電路和微機械按功能要求在芯片上的一種集成，基于光刻、刻蝕等傳統半導體技術，融入超精密機械加工，并結合力學、化學、光學等學科知識和技術基礎，使得一個毫米或微米級的MEMS具備精確而完整的機械、化學、光學等特性結構。

MEMS是一個獨立的智能系統，具有微型化、智能化、多功能、低功耗、可堆疊、高集成度和可實現批量生產的基本特點。從最早興起于工業領域和汽車電子，發展到普及于智能手機和可穿戴設備，再到覆蓋物聯網、人工智能設備。

MEMS屬于基礎感知及執行器件，可以支持工業與消費設備的連接，實現自然界、設備、人類、其他生物體等相互之間與個體之間的連接、通信、計算與執行，新型工業化意味著智能化和數字化，意味著MEMS的更廣泛應用。

根據中研普華產業研究院發布的《2024-2029年微機電系統(MEMS)產業現狀及未來發展趨勢分析報告》顯示：

MEMS側重于超精密機械加工，涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學、機械學的各分支。常見的產品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產品。

MEMS行業系在集成電路行業不斷發展的背景下，傳統集成電路無法持續地滿足終端應用領域日漸變化的需求而成長起來的。隨著微電子學、微機械學以及其他基礎自然科學學科的相互融合，誕生了以集成電路工藝為基礎，結合體微加工等技術打造的新型芯片。

由于MEMS器件普遍具備低成本、微型化、低功耗，是綠色低碳的代表性產品技術，將幫助工業企業推動智能改造、降本增效，屬于“新質生產力”的代表與范疇。

微機電系統(MEMS)行業發展概況

MEMS制造上連產品設計，下接產品封測，是MEMS產業鏈中必不可少的一環。MEMS產品類別多樣、應用廣泛，客戶定制化程度非常高，其生產采用的微加工技術強調工藝精度，屬于資金、技術及智力密集型行業。與CMOS相比，MEMS代工行業呈現出多品種、小批量的特點，同時對代工廠商的成本控制能力提出極高要求。

MEMS的生產制造使用了包括體微機械加工和表面微機械加工在內的微細加工技術，并結合沉積、光刻、鍵合、刻蝕等集成電路工藝，在硅片上實現微型機械三維結構的構建，在保留器件機械性能的基礎上大幅縮減了機械體積、降低了能耗并提高了機械可靠性，同時可批量生產，大大降低生產成本。

隨著終端應用市場的擴張，使得MEMS應用越來越廣泛，產業規模日漸擴大，日趨成為集成電路行業的一個新分支。

微機電系統(MEMS)行業重點企業

(1)歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2001年6月，2008年5月在深交所上市，主要聚焦MEMS麥克風及模組、智能傳感器及模組、SiP封裝等相關業務，專注于MEMS相關產品的自主研發設計與制造，其產品已廣泛應用于智能手機、無線耳機、智能穿戴、智能家居、無人機及汽車電子等領域。

(2)瑞聲聲學科技(深圳)有限公司

瑞聲科技控股有限公司為智能設備提供領先的微型專有技術解決方案，在聲學、光學、觸覺反饋、精密制造、微機電、無線射頻和天線領域擁有材料研發、仿真、算法、設計、自動化以及工藝開發等尖端技術。集團在設計和大批量高精密制造方面有近三十年經驗。

(3)華潤微集成電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，是領先的半導體和智能傳感器供應商，總部位于無錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產線是國內規模最大的與CMOS生產線兼容的MEMS傳感器量產生產線，具有國內領先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術，用于制造壓力、硅麥克風、光電、溫濕度等MEMS傳感器。

(4)蘇州敏芯微電子技術股份有限公司

蘇州敏芯微電子技術股份有限公司成立于2007年9月，是一家專業從事微電子機械系統傳感器研發設計的高新技術企業，公司總部在蘇州工業園區，并在蘇州工業園區、昆山設有傳感器產品制造工廠。

微機電系統(MEMS)行業市場趨勢

隨著萬物互聯與人工智能的興起，MEMS產品種類增加、市場規模擴大，行業對產品生產周期的縮短及生產成本的降低提出了更高要求，同時MEMS工藝研發費用迅速上升以及未來建廠費用高啟促使更多的半導體廠商將工藝開發及生產相關的制造環節進行外包，純MEMS代工廠與MEMS產品設計公司合作開發的商業模式將成為未來主流行業業務模式。

從趨勢上看，全球MEMS代工業務，尤其是純MEMS代工業務將會快速擴張;從結構上看，純MEMS代工業務在MEMS代工業務中所占比重將逐步升高。

根據預測，全球MEMS行業市場規模將從2020年的121億美元增長至2026年的約182億美元，CAGR達7.2%，通訊、生物醫療、工業汽車及消費電子的應用增速均非常可觀，其中通訊領域的增長率最高。預計到2026年，10億美元以上的MEMS細分領域包括射頻MEMS(40.49億美元)、MEMS慣性器件(40.02億美元)、壓力MEMS(23.62億美元)、麥克風(18.71億美元)以及未來應用(13.63億美元)。

更多行業詳情請點擊中研普華產業研究院發布的《2024-2029年微機電系統(MEMS)產業現狀及未來發展趨勢分析報告》。