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中國薄膜沉積設備行業發展現狀:PVD設備與CVD設備均已初步實現國產化

張星 2024年8月26日32113

一、薄膜沉積設備行業簡介薄膜沉積是指在硅片等襯底上沉積待處理的薄膜材料,所沉積薄膜材料主要是二氧化硅、氮化硅、多晶硅等非金屬以及銅等金屬,沉積膜可為無......

IT與通訊 薄膜沉積設備 PVD CVD

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